http://verilog.blog.shinobi.jp/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93/%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3%E7%94%A8%E8%AA%9Eリソグラフィ用語
TSMCのロードマップについての記事で出てきたリソグラフィについての用語を調べました。
- Immersion Lithography
- 液浸露光
- Numerical Aperture
- 開口数。NAと略される。
- ML2
- Mask Less Lithography。マスクなし露光のこと。
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